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產品分類大尺寸臺式熱原子層沉積系統 ALD 安瑞克(ANRIC)技術公司開發的原子層沉積(ALD)是一種氣相薄膜沉積技術,以其出色的匹配性、均勻性以及亞納米級的厚度控制而著稱。其基本原理基于自限性表面反應,即依次將前驅體引入到基底上,每次循環形成一層原子級薄膜。這種精確的控制使得能夠沉積出無缺陷且可重復的超薄薄膜,從光滑表面到復雜的三維結構(如溝槽、多孔材料、纖維、膜和納米管)都能實現。
市面上最小的ALD,可放進手套箱,來自美國哈佛的原子層沉積系統$n兼容高溫的快速脈沖 ALD 閥,具有超快 MFC,用于集成惰性氣體吹掃。
勻膠機有很多種稱謂,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關
CAM-C系列流延機面向較少資金投入的客戶設計,提供了更高的自動化水平,更高的精度和緊湊型設計,是一個真正創新型流延機